A rugós szonda egy speciális érzékelőeszköz, amelyet az objektum felszíni topográfiájában bekövetkezett változás észlelésére használnak a betöltés előtt és után. Rugófejből és mintatartóból áll, a rugófej a beállított erőnek megfelelően tud elmozdulni és a felülethez tapadni, a mintatartót pedig a minta befogásával rögzítjük a tokmányon.
A rugós szonda előnye, hogy kis erővel mozgatható, lehetővé téve a próbatest felületi görbületének pontos mérését és képösszehasonlítását a minta terhelése nélkül, még akkor is, ha a megfogó helyzete nem változtatható. Ugyanakkor egységes részletérzékeléssel rendelkezik, és szinte minden típusú mintát képes mérni anélkül, hogy a méret és a felület topográfia korlátozná.
Ezenkívül a rugós szondának képesnek kell lennie a befogópatron és a mérési frekvencia pontos szabályozására, hogy biztosítsa a mérés pontosságát. Ezenkívül, mivel a minta terhelési állapota befolyásolja a rugó visszapattanásának sebességét, a szondának be kell állítania a mérési nyomatékot a különböző megfelelő mintatípusoknak megfelelően, hogy biztosítsa a mérési eredmények pontosságát és pontos felületi topográfiai információkat kapjon.
Emellett a rugós szonda hosszú távú megbízhatósága érdekében oda kell figyelni az esetleges kopási és öregedési problémákra is, emellett az olyan részleteket, mint a deformáció, rendszeresen ellenőrizni és karbantartani.
